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电子束莫尔条纹产生装置及电子光学成像系统

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1、相连; 可以是两个 元件内部的连通。 对于本领域的普通技术人员而言, 可以根据具体情况理解上述术语在 或者一体地连接; 可以是机 械连接, 也可以是电连接; 可以是直接连接, 也是可以通过中间媒介间接装” 、“连接” 、“固定” 等术 语应做广义理解, 例如, 可以是固定连接、 也可以是可拆卸连接、 第二元件也可被称为第一 元件。 0034 应注意到: 在本发明中, 除非另有明确的规定和定义,“安户装置。 例如, 在不脱离本发明的各 种实施例的范围的情况下, 第一元件可被称为第二元件, 同样地,元件与其它元件区别开的目的。 例如, 第一用户装 置和第二用户装置指示不同用户装置, 尽管二者都是用。

2、可不限制相应组成元件。 例如, 以上表述并不限制所述元件的顺 序和/或重要性。 以上表述仅用于将一个各种实施例中使用的表述(诸如 “第一” 、“第二” 等)可修饰在各种实施 例中的各种组成元件, 不过” 或 “A或/和B中的至少一个” 可包括A、 可包括 B或可包括A和B二者。 0033 在本发明的 或 “A或/和B中的至少一个” 包括同时列出的 文字的任何组合或所有组合。 例如, 表述 “A或B骤、 操作、 元件、 组件或前述项的组合的可能性。 0032 在本发明的各种实施例中, 表述 “或”特征、 数字、 步骤、 操作、 元件、 组件或前述项的组合的存在或增加一个或更多个特征、 数字、 步。

3、 数 字、 步骤、 操作、 元件、 组件或前述项的组合, 并且不应被理解为首先排除一个或更多个其它 外, 如在 本发明的各种实施例中所使用, 术语 “包括” 、“具有” 及其同源词仅意在表示特定特征、括” 指示所公开 的功能、 操作或元件的存在, 并且不限制一个或更多个功能、 操作或元件的增加。 此同物和/或可选方案。 0031 在下文中, 可在本发明的各种实施例中使用的术语 “包括” 或 “可包特 定实施例的意图, 而是应将本发明理解为涵盖落入本发明的各种实施例的精神和范围内的 所有调整、 等实施例, 并且 可在其中做出调整和改变。 然而, 应理解: 不存在将本发明的各种实施例限于在此公开的。

4、6 A 4 具体实施方式 0030 在下文中, 将更全面地描述本发明的各种实施例。 本发明可具有各种像管; 9-荧光屏; 10-耦合透镜; 11-相机。 说明书 2/5 页 4 CN 10749247-透光窗; 3-光电阴极; 4-阳极栅网; 5-调整架; 6-管壳; 7-磁聚焦透 镜; 8-分幅变3是本发明实施例中阳极栅网的放大示意图。 0028 主要元件符号说明: 0029 1-激发光源; 2电子束莫尔条纹产生装置的示意图; 0026 图2是本发明实施例中光电阴极的放大示意图; 0027 图不付出创造性劳动的前提下, 还可以根据这 些附图获得其他相关的附图。 0025 图1是本发明实施例中。

5、附图仅示出了本发明的某些实施例, 因此不应被看作是对 范围的限定, 对于本领域普通技术人员来讲, 在楚地说明本发明实施例的技术方案, 下面将对实施例中所需要使用的附 图作简单地介绍, 应当理解, 以下明显易懂, 下文特举较佳实施例, 并配合 所附附图, 作详细说明如下。 附图说明 0024 为了更清变 像管的输入端, 并被转换成可见光图像用于观测。 0023 为使本发明的上述目的、 特征和优点能更尔条纹进行观测。 0022 进一步地, 电子束莫尔条纹图像形成后, 在磁聚焦透镜的作用下被成像于分幅尔条纹形状。 此外, 磁聚焦透镜的放大倍率不会对莫 尔条纹形状产生影响, 可在不同放大倍率下对同一莫。

6、莫尔条纹, 无需扫描时间, 提高效率。 进一步地, 阳极栅网相 对光电阴极可旋转, 可根据需求改变莫采用上述结构的优点在于: 光电阴极的条纹状刻线可作为第一道电子光栅与阳极 栅网的网格直接相互作用产生极栅网的栅格可以作为第二道电子光栅, 在两道电子光栅的作用下 可以形成电子束的莫尔条纹。 0021 阴极和阳极栅网之间的距离很短, 可以认为光电阴极的电子图像到阳极栅网并没有产 生太大的变化, 因此阳, 相 当于第一道电子光栅。 光电阴极产生的电子在加速电压的作用下, 移动到阳极栅网处, 由于 光电紫外光照射到光电阴 极之后, 由于在光电阴极上有条纹状刻线, 所以光电阴极会直接产生条纹状的电子图像。

7、19 本发明至少具有以下有益效果: 0020 根据本发明提供的电子束莫尔条纹产生装置, 当有X射线或光源。 0018 一种电子光学成像系统, 包括前述任一技术方案所述的电子束莫尔条纹产生装 置。 00所述阳极栅网安装在所述调整架上。 0017 作为对技术方案的改进, 所述激发光源为紫外线光源或X射线0016 作为对技术方案的改进, 所述管壳的第一端内侧设置有能够相对于所述光电阴极 转动的调整架, 术方案的改进, 所述相机为CCD相机。 0015 作为对技术方案的改进, 所述相机为CMOS相机。 用于将所述荧光屏上的光学 图像通过所述耦合透镜的作用成像于所述相机的探测面上。 0014 作为对技电。

8、子束莫尔条纹产生装置还包括耦合透镜和相机, 所述耦合透镜和所述相机顺次设置在所述管壳的第二端外侧,012 作为对技术方案的改进, 所述磁聚焦透镜的数量为单个。 0013 作为对技术方案的改进, 所述CN 107492476 A 3 0011 作为对技术方案的改进, 所述磁聚焦透镜的数量为多个。 0包括磁聚焦透镜, 所述 磁聚焦透镜套接在所述管壳上, 用于聚焦所述电子束。 说明书 1/5 页 3 光栅 的作用下形成电子束的莫尔条纹。 0010 作为对技术方案的改进, 所述电子束莫尔条纹产生装置还述阳极栅网贴近所述光 电阴极设置, 用于产生第二道电子光栅, 并在所述第一道电子光栅和所述第二道电子纹。

9、状刻线, 用于产生第一道电子光栅; 0009 所述阳极栅网的目数与所述刻线的空间频率相匹配, 且所幅变像管用于将电子图像加强后轰击到所述荧光屏上 转变为光学图像; 0008 所述光电阴极表面设置有条光电阴极与所述阳极栅网间存在加速电压, 所述分幅变像管和所述荧光 屏设置在所述管壳的第二端, 所述分上设置有用于使光子穿透的所述透光窗, 所述光电阴极和所述阳极栅网顺次设置在所述透 光窗的内侧, 所述网、 管 壳、 分幅变像管、 荧光屏, 所述激发光源设置在所述管壳的第一端外侧, 所述第一端的端面 技术方案如下: 0007 一种电子束莫尔条纹产生装置, 包括激发光源、 透光窗、 光电阴极、 阳极栅服。

10、现有技术的不足, 本发明提供了电子束莫尔条纹产生装置及电子光线成 像系统。 0006 具体地, 其用到了这种扫描方式 来成像, 因此其莫尔条纹图像在时间上同样存在延迟性。 发明内容 0005 为了克的方法虽然没有利用到电子束的光栅状 扫描来产生莫尔条纹, 莫尔条纹不会受到放大倍率的影响, 但是依然生的莫尔条纹还受到放大倍率的影响, 在不同倍率下观测 到的莫尔条纹形状会发生变化。 第二种方案中所用产生的, 而是将多次扫描的图像组合起来形成的莫尔条纹, 在时间上 存在延迟性。 此外, 采用该结构产条纹电子束光栅并非真实存在的电子光栅, 而是电子束的光栅状扫描。 因此电子束莫尔 条纹的图像并非同时束。

11、莫尔条纹。 0004 由于采用扫描电镜来产生并测量莫尔条纹, 因此第一种方案中用于产生电子束莫 尔测; 第二种, 采用光刻法在样品上制作条纹, 利用SEM照射样品产生的二 次电子和一次电子来产生电子制作刻线形成电子光栅, 利用样品上的刻线与扫描电镜的电子束光栅扫描来形成电子束 莫尔条纹, 并进行观却不多见。 0003 目前最具代表性的电子束莫尔条纹产生装置包括以下两种: 第一种, 在黄铜样品 上断等领域。 近年来, 光学领域的莫尔条纹已经得到了广泛的应用, 但对电子束领域莫 尔条纹的研究与应用术 0002 莫尔条纹作为一种光学现象, 常被应用于高次条纹消除、 等高线测量、 凹凸判定、 医疗诊 。

12、本发明涉及电子成像技术领域, 具体而言, 涉及电子束莫尔条纹产生装置及电子 光线成像系统。 背景技 2 CN 107492476 A 2 电子束莫尔条纹产生装置及电子光学成像系统 技术领域 0001, 其特征在于, 包括权利要求1-9中任一项所述的电子束莫 尔条纹产生装置。 权利要求书 1/1 页尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述激发光源为紫外 线光源或X射线光源。 10.一种电子光学成像系统相对于所述光电阴极转动的调整架, 所述阳极栅网安装在所述调整架上。 9.根据权利要求1所述的电子束莫。 8.根据权利要求1所述的电子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述管壳的第一端内 侧设置有能够C。

13、D相机。 7.根据权利要求5所述的电子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述相机为CMOS相 机所述相机的探测面 上。 6.根据权利要求5所述的电子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述相机为C所述相机顺次设置在所述管壳的第二端 外侧, 用于将所述荧光屏上的光学图像通过所述耦合透镜的作用成像于莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述电子束莫尔条纹 产生装置还包括耦合透镜和相机, 所述耦合透镜和子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述磁聚焦透镜的数 量为单个。 5.根据权利要求1所述的电子束的电子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述磁聚焦透镜的数 量为多个。 4.根据权利要求2所述的电置。

14、还包括磁聚焦透镜, 所述磁聚焦透镜套接在所述管壳上, 用于聚焦所述电子束。 3.根据权利要求2所述尔条纹。 2.根据权利要求1所述的电子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 所述电子束莫尔条纹 产生装设置, 用于产生第二道电子光栅, 并在所述第一道电子光栅和所述第二道电子光栅的作 用下形成电子束的莫生第一道电子光栅; 所述阳极栅网的目数与所述刻线的空间频率相匹配, 且所述阳极栅网贴近所述光电阴 极用于将电子图像加强后轰击到所述荧 光屏上转变为光学图像; 所述光电阴极表面设置有条纹状刻线, 用于产与所述阳极栅网间存在加速电压, 所述分幅变像管和所 述荧光屏设置在所述管壳的第二端, 所述分幅变像管用。

15、于使光子穿透的所述透光窗, 所述光电阴极和所述阳极栅网顺次设置在 所述透光窗的内侧, 所述光电阴极管壳、 分幅变像管、 荧光屏, 所述激发光源设置在所述管壳的第一端外侧, 所述第一端 的端面上设置有1.一种电子束莫尔条纹产生装置, 其特征在于, 包括激发光源、 透光窗、 光电阴极、 阳极 栅网、 书5页 附图2页 CN 107492476 A 2017.12.19 CN 107492476 A 用光电阴极和阳极栅 网的相互作用产生莫尔条纹, 无需扫描时间, 提 高了效率。 权利要求书1页 说明光栅和第二道电子光栅的作用下形 成电子束的莫尔条纹。 本发明提供的电子束莫尔 条纹产生装置能够直接利与。

16、刻线的空间频率相匹配, 且阳极栅网贴近 光电阴极设置, 用于产生第二道电子光栅, 并在 第一道电子分幅变像管、 荧光屏, 光电阴极表面设置有条纹 状刻线, 用于产生第一道电子光栅; 阳极栅网的 目数子光学成像系统, 电子束莫尔条纹产生装置包 括激发光源、 透光窗、 光电阴极、 阳极栅网、 管壳、 电子束莫尔条纹产生装置及电子光学成像 系统 (57)摘要 本发明提供了电子束莫尔条纹产生装置及 电) H01J 29/18(2006.01) H01J 29/64(2006.01) (54)发明名称(51)Int.Cl. H01J 29/02(2006.01) H01J 29/04(2006.01云飞 (74)专利代理机构 北京超凡志成知识产权代理 事务所(普通合伙) 11371 代理人 王晖 深圳大学 地址 518000 广东省深圳市南山区南海大 道3688号 (72)发明人 刘进元蔡厚智雷(21)申请号 201710676245.X (22)申请日 2017.08.09 (71)申请人 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日。

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