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气体释放辊及其制造方法以及使用气体释放辊的处理装置

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气体 释放 及其 制造 方法 以及 使用 处理 装置
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1、报; 0017 专利文献4: 国际公开第2005/001157号公报; 0018 专利文献5: 日本文献2: 日本专利第3447070号公报; 0016 专利文献3: 日本特开昭62-247073号公文献 0013 专利文献 0014 专利文献1: 日本特开平2-098994号公报; 0015 专利气体导入路的截面取决于铣槽刀的形状, 因此也能够形成四边形、 U字形或 三角形。 0012 现有技术rill)将气体导入路开口, 因此, 气体导入路的截面限于圆形, 但通过气体槽和烧嵌 的结合而形成的.2mm的气体释放孔从两侧朝向一条气体导入路倾斜贯穿。 在该现有技术中, 由于用枪管钻 (Gun d。

2、向对 一条气体导入路开设相对的气体释放孔的技术。 此处, 每2 形成180条气体导入路, 直径为 0和筒辊表面的 热传递的隔热区域, 因此不优选。 因此, 像专利文献7记载那样, 提出了用激光从倾斜方但是, 为了增加气体释放 孔, 气体导入路也必须增加, 但气体导入路增加时, 其本身会成为妨碍冷却水筒辊表面的热传导, 该气体释放孔较细 时较好, 而且为了得到均匀的气体分布该气体释放孔较多时较好。 该槽被称为气体导入路。 贯穿该气体导入路和筒辊 表面的孔是气体释放孔。 能够容易推定: 为了不妨碍和外管有时会松动, 因此, 通过激光焊接或者电子束来焊接槽间。 0011 从内鼓和外管被烧嵌时开始,工。

3、 外管时施加较大的热负荷, 另外, 通过将外管削薄而降低紧固应力、 或者进行高温热处理, 从而内鼓与内鼓相嵌。 专利文献5、 6进一步记载了以下方法: 在使用过程中对外管施加较大的热负荷, 或者在加被称作烧嵌 (Shrink fitting)的方法, 即对于比外管稍小的内鼓, 加热外管使其热膨胀后的筒辊需要具有冷却机 构。 0010 这种冷却筒辊具有作为外辊的外管和作为内辊的内鼓, 自古以来采用作为气体导入口的多个微 细孔的技术。 0009 如上所述, 像溅射镀膜机那样在真空中对膜进行成膜处理的气体释放筒辊。 例如, 在专利文献4 中, 作为从筒辊侧导入气体的方法, 公开了在筒辊的外周面设置书。

4、 1/17 页 4 CN 112189059 A 4 筒辊外周面与耐热性树脂膜之间的间隙部导入气体2K)。 0008 为了解决这种问题, 作为使间隙部的热导率高于真空的技术, 提出了从筒辊侧向 说明树脂膜的间隙部的距离约为40 m以下(也包括接触)的分子流区域时, 间隙部的热导率为 250(W/m 因。 另外, 根据非专利文献2, 当导入气体为氩气且导入气压为500Pa时, 筒辊外周面与耐热 性空隙(间隙部)。 因此, 不能说成膜时产生的耐热性树脂膜的热被高效地传至筒辊, 这成为膜产生褶皱的原从微观上看不平坦, 因此, 在筒辊 和与其外周面接触地输送的耐热性树脂膜之间存在通过真空空间而隔开的侧。

5、的子辊来使耐热性树脂膜密接于冷 却辊。 0007 但是, 如非专利文献1所记载, 由于筒辊的外周面空溅射装置中具备起到筒辊的作用的冷却辊, 并进行控制, 该控制是通过至少设置在冷却辊的膜送入侧或送出 专利文献3中公开了作为溅射镀膜机的一例的放卷收卷式(卷对卷方式)的 真空溅射装置。 该放卷收卷式真被输送的耐热性树脂 膜卷绕于筒辊, 从而将成膜中的耐热性树脂膜从其背面侧进行冷却。 0006 例如,生, 在作为带金属膜的耐热性树脂膜 的制造装置的溅射镀膜机中, 采用以下方式: 通过以卷对卷的方式将 而且, 已知如果在成膜时对耐热性树脂膜施加较 大的热负荷, 则膜容易产生褶皱。 为了防止该褶皱的产膜。

6、法中, 一般认为溅射法在密接力方面优异, 但与真空蒸镀法 相比, 对耐热性树脂膜施加的热负荷更大。 通常使用溅射镀膜机(Sputtering Web Coater)。 0005 但是, 在上述真空成射形成的第二金属薄膜从而得到的。 此外, 在对如聚酰亚胺膜这样的耐热性树 脂膜进行真空成膜的情况下, 其 是在聚酰亚胺膜上依次层叠以铜镍合金为靶并通过溅射形成的第一金属薄膜、 以及以铜为 靶并通过溅层后, 溅射铜从而 在聚酰亚胺绝缘层上形成导体层的方法。 另外, 专利文献2公开了柔性电路基板用材料 离子镀法、 离子束溅射法等。 0004 关于金属化法, 专利文献1中记载了在聚酰亚胺绝缘层上溅射铬et。

7、allizing Method)。 作为 金属化法中采用的真空成膜法, 有真空蒸镀法、 溅射法、 以及通过真空成膜法或者真空成膜法和湿式镀 敷法将金属膜成膜于耐热性树脂膜来制造的方法(金属化法(M制造的方法(三层基板的制造方法)、 将耐热性树脂溶液涂布于 金属箔并使其干燥来制造的方法(流延法)、作为这种带金属膜的长条耐热性树脂膜的制造方法, 以往, 已知采用粘合剂将金 属箔贴附于耐热性树脂膜来化、 高密度化, 带金 属膜的耐热性树脂膜自身是没有褶皱等的平滑的膜, 就变得更为重要。 0003 在耐热性树脂膜的单面或双面成膜有 金属膜的带金属膜的耐热性树脂膜, 但是, 随着近年来布线图案的微细数码。

8、相机、 便携式电话等中使用在耐热性树脂膜上包覆 了金属膜的柔性布线基板。 在该柔性布线基板中使用放辊及其制造方法、 以及使用气体释放辊的处理装置。 背景技术 0002 在液晶面板、 笔记本电脑、 个区域释放气体的气体释放辊, 特别涉及在金属制内辊的外周面装配圆筒状的金属制外辊 并固定的这类气体释处理装置 技术领域 0001 本发明涉及在外周面附近具有沿轴向延伸的多个气体导入路且能够向外周面整 要求书 2/2 页 3 CN 112189059 A 3 气体释放辊及其制造方法以及使用气体释放辊的述气体释放辊的外周面相对设置, 对卷绕于所述气体释放辊的长 条树脂膜实施施加热负荷的表面处理。 权利释放。

9、辊; 输送机构, 一边将长条树脂膜卷绕于所述气体释放辊一边进行输送; 以及 表面处理机构, 与所周之间包围的圆环状面积)。 8.一种处理装置, 其特征在于, 包括: 权利要求15中任一项所述的气体入范围的空隙率B(气体导入路的截面积气体导入路的条数)/(隔着 气体导入路截面的最大径圆周与最小径圆外周面, 所述槽形成工序以使以下定义的气体导入范围的空隙率B为20以下的方式来实施, 其中, 气体导用槽与所述外辊内周面之间划分的多个气体导入路中的各气体导入路, 所述多个气体 导入用槽形成于所述内辊辊接合; 以及 孔形成工序, 将气体释放孔组形成于所述外辊, 所述气体释放孔组贯穿于在多个气体 导入所述。

10、气体导入用槽的所述内辊的外周面烧嵌 所述外辊; 接合工序, 通过焊接将所述烧嵌的所述内辊和所述外接触 的内周面, 所述气体释放辊能够向所述外辊表面释放气体; 烧嵌工序, 在通过所述槽形成工序形成了伸的多个气体导入用槽, 所述金属制内辊在端部具有旋转轴, 所述圆筒状金属制外辊具有与所述内辊的外周面圆筒状的金属制外辊的气体释放辊时, 在所述 内辊的外周面的整个外周以大致相等的间隔形成沿旋转轴方向延长度)。 7.一种气体释放辊的制造方法, 其特征在于, 包括: 槽形成工序, 在制造包括金属制内辊及面的圆周方向的最大宽度气 体导入路的条数)/(通过气体导入路截面的圆周方向的最大宽度位置的最小径圆周页 。

11、2 CN 112189059 A 2 实施, 其中, 气体导入路截面的圆周隔断率A(气体导入路截, 所述槽形成工序以使以下定义的气体导入路截面的圆周隔断率A为36以下的方式来 权利要求书 1/2 所述外辊内周面之间划分的多个气体导入路中的各气体导入路, 所述多个气体 导入用槽形成于所述内辊外周面; 以及 孔形成工序, 将气体释放孔组形成于所述外辊, 所述气体释放孔组贯穿于在多个气体 导入用槽与体导入用槽的所述内辊的外周面烧嵌 所述外辊; 接合工序, 通过焊接将所述烧嵌的所述内辊和所述外辊接合内周 面, 所述气体释放辊能够向所述外辊表面释放气体; 烧嵌工序, 在通过所述槽形成工序形成了所述气伸的。

12、多个气体导入用槽, 所述金属制内辊在端部具有旋转轴, 所述金属制外辊具有与所述内辊的外周面接触的圆筒状的金属制外辊的气体释放辊时, 在所述 内辊的外周面的整个外周以大致相等的间隔形成沿旋转轴方向延斜配置。 6.一种气体释放辊的制造方法, 其特征在于, 包括: 槽形成工序, 在制造包括金属制内辊及 5.如权利要求14中任一项所述的气体释放辊, 其特征在于, 所述气体释放孔组相对于所述外辊的径向倾隔更窄。 4.如权利要求13中任一项所述的气体释放辊, 其特征在于, 所述气体导入用槽为非圆形截面。释放辊, 其特征在于, 所述气体释放孔组沿着气体释放辊的圆周方向的排列间隔比所述气体导入路的排列 间隔着。

13、 气体导入路截面的最大径圆周与最小径圆周之间包围的圆环状面积)。 3.如权利要求1或2所述的气体范围的空隙率B为20以下, 其中, 气体导入范围的空隙率B(气体导入路的截面积气体导入路的条数)/(气体 导入路; 以及 气体释放孔组, 以贯穿所述气体导入路的方式形成于所述外辊, 以下定义的气体导入所述内辊的圆周方向隔开 大致均等的间隔且沿着所述内辊的旋转轴方向延伸, 在与所述外辊的内周面之间划分属制外辊, 装配于所述内辊的外周面而一体化; 气体导入用槽, 形成为在所述内辊的外周面的整个外周沿着周长度)。 2.一种气体释放辊, 其特征在于, 具有: 金属制内辊, 在端部具有旋转轴; 圆筒状的金截面。

14、的圆周方向的最大宽度气 体导入路的条数)/(通过气体导入路截面的圆周方向的最大宽度位置的最小径圆以下定义的气体导入路截面的圆周隔断率A为36以下, 其中, 气体导入路截面的圆周隔断率A(气体导入路辊的内周面之间划分气体 导入路; 以及 气体释放孔组, 以贯穿所述气体导入路的方式形成于所述外辊, 周面的整个外周沿着所述内辊的圆周方向隔开 大致均等的间隔且沿着所述内辊的旋转轴方向延伸, 在与所述外转轴; 圆筒状的金属制外辊, 装配于所述内辊的外周面而一体化; 气体导入用槽, 形成为在所述内辊的外CN 112189059 A 1.一种气体释放辊, 其特征在于, 具有: 金属制内辊, 在端部具有旋下。。

15、 权利要求书2页 说明书17页 附图13页 CN 112189059 A 2021.01.05 形成于外辊(3), 气 体导入路截面的圆周隔断率A为36以下、 或者 气体导入范围的空隙率B为20以辊(3)的内周面之 间划分气体导入路(5); 以及气体释放孔(6)组, 以贯穿气体导入路(5)的方式的整个外周沿着该内辊 (2)的圆周方向隔开大致相等的间隔且沿着内辊 (2)的旋转轴方向延伸, 在与外辊(3), 安装于内 辊(2)的外周面而一体化; 气体导入用槽(4), 形 成为在内辊(2)的外周面的解决手段是一 种气体释放辊, 其具有: 金属制内辊(2), 在端部 具有旋转轴; 圆筒状的金属制外外周。

16、面附近的整个外周形成沿 轴向延伸的多个气体导入路而且能够良好地保 持对热负荷的冷却性能。 本发明法以及使用气体释 放辊的处理装置 (57)摘要 本发明的技术课题是在不使用枪管钻加工 的情况下能够在6(2006.01) F16C 13/00(2006.01) (54)发明名称 气体释放辊及其制造方 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人 陈曦向勇 (51)Int.Cl. C23C 14/571)申请人 住友金属矿山株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 大上秀晴 (74)专利代理机构.24 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/225057 JA 2019.11.28 (0.11.23 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2019/002301 2019.01据 2018-098645 2018.05.23 JP (85)PCT国际申请进入国家阶段日 202(21)申请号 201980034578.X (22)申请日 2019.01.24 (30)优先权数(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日。

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