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光滑表面硅纳米线阵列的制备方法

( 1 0 ) C N 1 0 2 1 2 6 7 2 4 A ( 4 3 ) 2 0 1 1 . 0 7 . 2 0 C N 1 0 2 1 2 6 7 2 4 A *CN102126724A* ( 2 1 ) 2 0 1 1 1 0 0 8 0 3 7 2 . 6 ( 2 2 ) 2 0 1 1 . 0 3 . 3 1 C 0 1 B 3 3 / 0 2 1 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) B 8 2 Y 4 0 / 0 0 ( 2 0 1 1 . 0 1 ) ( 7 1 ) 2 0 0 2 4 0 8 0 0 ( 7 2 ) ( 7 4 ) 3 1 2 0 1 ( 5 4 ) 线 ( 5 7 ) 线 湿 线 线 线 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 1 9 ) ( 1 2 ) 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 1 页
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