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液体处理装置

( 1 0 ) 授 权 公 告 号 C N 1 0 1 4 4 1 9 9 1 B ( 4 5 ) 授 权 公 告 日 2 0 1 0 . 1 1 . 0 3 C N 1 0 1 4 4 1 9 9 1 B *CN101441991B* ( 2 1 ) 申 请 号 2 0 0 8 1 0 1 7 9 5 7 9 . 7 ( 2 2 ) 申 请 日 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 2 0 0 6 - 1 1 4 9 6 0 2 0 0 6 . 0 4 . 1 8 J P 2 0 0 7 1 0 0 9 6 1 9 1 . 6 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 H 0 1 L 2 1 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) 专 利 权 人 东 京 毅 力 科 创 株 式 会 社 地 址 日 本 东 京 都 ( 7 2 ) 发 明 人 金 子 聪 松 本 和 久 伊 藤 规 宏 饱 本 正 巳 户 岛 孝 之 难 波 宏 光 ( 7 4 ) 专 利 代 理 机 构 中 国 专 利 代 理 ( 香 港 ) 有 限 公 司 7 2 0 0 1 代 理 人 温 大 鹏 C N 1 3 5 7 9 0 7 A , 2 0 0 2 . 0 7 . 1 0 , 全 文 . U S 5 9 9 7 6 5 3 A , 1 9 9 9 . 1 2 . 0 7 , 全 文 . U S 2 0 0 4 0 1 8 0 1 4 1 A 1 , 2 0 0 4 . 0 9 . 1 6 , 全 文 . J P 特 开 平 8 - 1 0 6 4 A , 1 9 9 6 . 0 1 . 0 9 , 全 文 . J P 特 开 2 0 0 0 - 2 7 1 5 2 4 A , 2 0 0 0 . 1 0 . 0 3 , 全 文 . ( 5 4 ) 发 明 名 称 液 体 处 理 装 置 ( 5 7 ) 摘 要 一 种 液 体 处 理 装 置 ， 包 括 ： 基 板 保 持 部 ， 水 平 地 保 持 基 板 ， 并 能 够 与 基 板 一 同 旋 转 ； 旋 转 杯 ， 围 绕 被 基 板 保 持 部 保 持 的 基 板 ， 能 够 与 基 板 一 同 旋 转 ； 旋 转 机 构 ， 使 旋 转 杯 以 及 基 板 保 持 部 一 体 旋 转 ； 液 体 供 给 机 构 ， 至 少 对 基 板 的 表 面 供 给 处 理 液 ； 排 气 / 排 液 部 ， 从 旋 转 杯 向 外 部 进 行 排 气 以 及 排 液 ； 和 导 向 部 件 ， 按 照 表 面 与 基 板 表 面 近 似 连 续 的 方 式 设 置 于 基 板 的 外 侧 ， 与 基 板 保 持 部 以 及 旋 转 杯 一 同 旋 转 ， 使 向 基 板 表 面 供 给 并 从 基 板 甩 出 的 处 理 液 经 由 其 表 面 从 旋 转 杯 向 排 气 / 排 液 部 导 向 。 ( 3 0 ) 优 先 权 数 据 ( 6 2 ) 分 案 原 申 请 数 据 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) 对 比 文 件 审 查 员 刘 振 玲 ( 1 9 ) 中 华 人 民 共 和 国 国 家 知 识 产 权 局 ( 1 2 ) 发 明 专 利 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 6 页
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