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薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置

( 1 0 ) 授 权 公 告 号 C N 1 0 1 1 2 1 4 6 6 B ( 4 5 ) 授 权 公 告 日 2 0 1 2 . 0 1 . 0 4 C N 1 0 1 1 2 1 4 6 6 B *CN101121466B* ( 2 1 ) 申 请 号 2 0 0 7 1 0 1 0 0 8 1 7 . 6 ( 2 2 ) 申 请 日 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 2 1 5 5 5 7 / 2 0 0 6 2 0 0 6 . 0 8 . 0 8 J P B 6 5 G 5 1 / 0 3 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) B 6 5 G 4 9 / 0 6 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) G 0 2 F 1 / 1 3 3 3 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) H 0 1 J 9 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) H 0 1 L 2 1 / 6 8 3 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) 专 利 权 人 株 式 会 社 日 本 设 计 工 业 地 址 日 本 静 冈 县 专 利 权 人 芝 浦 机 械 电 子 装 置 股 份 有 限 公 司 ( 7 2 ) 发 明 人 名 仓 成 之 滨 中 亮 明 弓 场 说 治 鸟 山 典 之 小 栗 勤 牧 野 勉 福 田 丈 二 广 濑 治 道 ( 7 4 ) 专 利 代 理 机 构 永 新 专 利 商 标 代 理 有 限 公 司 7 2 0 0 2 代 理 人 胡 建 新 C N 1 8 1 0 6 0 8 A , 2 0 0 6 . 0 8 . 0 2 , U S 2 0 0 6 / 0 0 6 5 1 9 4 A 1 , 2 0 0 6 . 0 3 . 3 0 , J P 特 开 2 0 0 4 - 3 4 5 7 4 4 A , 2 0 0 4 . 1 2 . 0 9 , J P 特 开 2 0 0 1 - 1 9 6 4 3 8 A , 2 0 0 1 . 0 7 . 1 9 , C N 1 5 9 0 2 5 4 A , 2 0 0 5 . 0 3 . 0 9 , ( 5 4 ) 发 明 名 称 薄 板 状 材 料 输 送 用 气 动 工 作 台 以 及 薄 板 状 材 料 输 送 装 置 ( 5 7 ) 摘 要 本 发 明 提 供 一 种 抑 制 无 尘 室 内 的 空 气 紊 流 、 并 且 获 得 薄 板 状 材 料 的 较 大 的 上 浮 量 的 薄 板 状 材 料 输 送 用 气 动 工 作 台 以 及 具 有 该 气 动 工 作 台 的 薄 板 状 材 料 输 送 装 置 。 薄 板 状 材 料 输 送 用 气 动 工 作 台 ( 1 4 ) 具 有 上 面 板 ( 1 8 ) 、 多 孔 质 膜 ( 2 0 ) 、 和 网 状 部 件 ( 2 2 ) ； 其 中 ， 所 述 上 面 板 ( 1 8 ) 形 成 有 多 个 用 于 对 玻 璃 基 板 ( 1 2 ) 的 下 表 面 供 给 气 体 的 给 气 孔 ( 1 6 ) ； 所 述 多 孔 质 膜 ( 2 0 ) 设 置 在 所 述 上 面 板 ( 1 8 ) 之 下 并 与 该 上 面 板 ( 1 8 ) 相 接 触 ； 所 述 网 状 部 件 ( 2 2 ) 设 置 成 从 下 方 支 撑 所 述 多 孔 质 膜 ( 2 0 ) 。 ( 3 0 ) 优 先 权 数 据 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) 对 比 文 件 审 查 员 张 杨 ( 1 9 ) 中 华 人 民 共 和 国 国 家 知 识 产 权 局 ( 1 2 ) 发 明 专 利 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 3 页
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