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激光加工方法及激光加工装置

( 1 0 ) 授 权 公 告 号 C N 1 0 1 4 3 2 0 9 4 B ( 4 5 ) 授 权 公 告 日 2 0 1 2 . 1 0 . 3 1 C N 1 0 1 4 3 2 0 9 4 B *CN101432094B* ( 2 1 ) 申 请 号 2 0 0 7 8 0 0 1 5 0 5 3 . 9 ( 2 2 ) 申 请 日 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 1 2 4 0 8 4 / 2 0 0 6 2 0 0 6 . 0 4 . 2 7 J P B 2 3 K 2 6 / 0 6 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) B 2 3 K 2 6 / 0 8 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) H 0 5 K 3 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) H 0 5 K 3 / 0 8 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) B 2 3 K 1 0 1 / 4 2 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) 专 利 权 人 日 立 造 船 株 式 会 社 地 址 日 本 大 阪 府 ( 7 2 ) 发 明 人 福 田 直 晃 国 盐 和 良 中 山 茂 昭 ( 7 4 ) 专 利 代 理 机 构 上 海 专 利 商 标 事 务 所 有 限 公 司 3 1 1 0 0 代 理 人 张 鑫 U S 2 0 0 2 1 4 8 8 1 8 A 1 , 2 0 0 2 . 1 0 . 1 7 , J P 1 0 2 7 7 7 6 4 A , 1 9 9 8 . 1 0 . 2 0 , E P 0 5 7 7 8 3 3 A 1 , 1 9 9 4 . 0 1 . 1 2 , J P 1 0 2 7 7 7 6 3 A , 1 9 9 8 . 1 0 . 2 0 , U S 2 0 0 3 0 0 6 2 2 1 A 1 , 2 0 0 3 . 0 1 . 0 9 , ( 5 4 ) 发 明 名 称 激 光 加 工 方 法 及 激 光 加 工 装 置 ( 5 7 ) 摘 要 本 发 明 提 供 即 使 强 度 和 波 长 不 同 的 激 光 束 以 多 个 级 辐 射 也 能 在 电 子 电 路 板 的 图 案 形 成 时 高 效 加 工 的 方 法 和 装 置 。 激 光 加 工 装 置 具 有 ： 第 一 和 第 二 激 光 振 荡 器 ( 2 a 、 2 b ) ， 发 射 波 长 或 者 强 度 至 少 一 个 互 不 相 同 的 激 光 束 ( 3 a 、 3 b ) ； 工 作 台 ( 5 ) ， 移 动 要 加 工 的 工 件 ( 1 ) ； 光 学 系 统 ( 4 a 、 4 b ) ， 引 导 激 光 束 ( 3 a 、 3 b ) 至 工 件 ( 1 ) 上 的 预 定 位 置 。 光 学 系 统 ( 4 a 、 4 b ) ， 可 以 由 调 整 设 备 ( 6 ) 根 据 激 光 束 ( 3 a 、 3 b ) 和 工 件 ( 1 ) 的 相 对 移 动 方 向 而 移 动 ， 允 许 激 光 束 ( 3 a 、 3 b ) 辐 射 至 工 件 ( 1 ) 的 预 定 位 置 ， 使 得 工 件 ( 1 ) 可 以 被 激 光 束 ( 3 a 、 3 b ) 加 工 。 这 样 ， 可 以 不 限 制 激 光 束 和 工 件 的 相 对 移 动 方 向 且 没 有 非 必 要 的 移 动 地 高 效 进 行 激 光 加 工 。 ( 3 0 ) 优 先 权 数 据 ( 8 5 ) P C T 申 请 进 入 国 家 阶 段 日 2 0 0 8 . 1 0 . 2 7 ( 8 6 ) P C T 申 请 的 申 请 数 据 P C T / J P 2 0 0 7 / 0 5 8 4 3 9 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 ( 8 7 ) P C T 申 请 的 公 布 数 据 W O 2 0 0 7 / 1 2 5 7 9 9 J A 2 0 0 7 . 1 1 . 0 8 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) 对 比 文 件 审 查 员 纪 传 龙 权 利 要 求 书 1 页 说 明 书 4 页 附 图 2 页 ( 1 9 ) 中 华 人 民 共 和 国 国 家 知 识 产 权 局 ( 1 2 ) 发 明 专 利 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 2 页
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