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掩模图案生成方法

( 1 0 ) C N 1 0 1 0 5 9 6 4 9 B ( 4 5 ) 2 0 1 0 . 0 5 . 2 6 C N 1 0 1 0 5 9 6 4 9 B *CN101059649B* ( 2 1 ) 2 0 0 7 1 0 0 9 6 1 6 8 . 7 ( 2 2 ) 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 1 1 4 8 2 7 / 0 6 2 0 0 6 . 0 4 . 1 8 J P G 0 3 F 1 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) ( 7 2 ) ( 7 4 ) 1 1 1 0 5 C N 1 6 8 8 9 3 2 A , 2 0 0 5 . 1 0 . 2 6 , . U S 2 0 0 3 / 0 0 9 6 1 7 7 A 1 , 2 0 0 3 . 0 5 . 2 2 , . U S 2 0 0 2 / 0 1 7 7 0 5 1 A 1 , 2 0 0 2 . 1 1 . 2 8 , . ( 5 4 ) ( 5 7 ) ( 3 0 ) ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) ( 1 9 ) ( 1 2 ) 权利要求书 1 页 说明书 10 页 附图 10 页
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