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可湿法显影的底部抗反射涂料组合物及其使用方法

( 1 0 ) C N 1 0 1 4 2 7 1 8 1 B ( 4 5 ) 2 0 1 2 . 0 3 . 2 1 C N 1 0 1 4 2 7 1 8 1 B *CN101427181B* ( 2 1 ) 2 0 0 7 8 0 0 1 4 0 9 5 . 0 ( 2 2 ) 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 1 1 / 4 0 5 , 8 7 9 2 0 0 6 . 0 4 . 1 8 U S G 0 3 C 1 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) ( 7 2 ) M · M · C · K · S · P · R · 西 ( 7 4 ) 1 1 2 4 7 U S 2 0 0 5 / 0 2 1 4 6 7 4 A 1 , 2 0 0 5 . 0 9 . 2 9 , [ 0 0 1 7 ] - [ 0 0 4 9 ] , [ 0 0 6 1 ] . U S 2 0 0 5 / 0 2 1 4 6 7 4 A 1 , 2 0 0 5 . 0 9 . 2 9 , [ 0 0 1 7 ] - [ 0 0 4 9 ] , [ 0 0 6 1 ] . W O 2 0 0 6 / 0 2 7 9 5 0 A 1 , 2 0 0 6 . 0 3 . 1 6 , [ 0 0 1 2 ] - [ 0 0 1 9 ] , [ 0 0 6 8 ] - [ 0 0 7 7 ] . C N 1 4 8 2 1 9 2 A , 2 0 0 4 . 0 3 . 1 7 , 5 1 3 - 1 6 , 1 2 1 1 - 2 0 . C N 1 6 1 5 3 0 2 A , 2 0 0 5 . 0 5 . 1 1 , . C N 1 6 1 5 4 6 0 A , 2 0 0 5 . 0 5 . 1 1 , . ( 5 4 ) 湿 使 ( 5 7 ) N - 使 ( 3 0 ) ( 8 5 ) P C T 2 0 0 8 . 1 0 . 2 0 ( 8 6 ) P C T P C T / U S 2 0 0 7 / 0 6 6 8 4 1 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 ( 8 7 ) P C T W O 2 0 0 7 / 1 2 1 4 5 6 E N 2 0 0 7 . 1 0 . 2 5 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) ( 1 9 ) ( 1 2 ) 权利要求书 4 页 说明书 13 页 附图 1 页
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