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可湿法显影的底部抗反射涂料组合物及其使用方法

( 1 0 ) 授 权 公 告 号 C N 1 0 1 4 2 7 1 8 1 B ( 4 5 ) 授 权 公 告 日 2 0 1 2 . 0 3 . 2 1 C N 1 0 1 4 2 7 1 8 1 B *CN101427181B* ( 2 1 ) 申 请 号 2 0 0 7 8 0 0 1 4 0 9 5 . 0 ( 2 2 ) 申 请 日 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 1 1 / 4 0 5 , 8 7 9 2 0 0 6 . 0 4 . 1 8 U S G 0 3 C 1 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) 专 利 权 人 国 际 商 业 机 器 公 司 地 址 美 国 纽 约 ( 7 2 ) 发 明 人 陈 光 荣 M · 霍 伊 贾 斯 坦 邝 惠 玲 M · C · 劳 森 李 文 杰 K · S · 帕 特 尔 P · R · 瓦 拉 纳 西 ( 7 4 ) 专 利 代 理 机 构 北 京 市 中 咨 律 师 事 务 所 1 1 2 4 7 代 理 人 林 柏 楠 黄 革 生 U S 2 0 0 5 / 0 2 1 4 6 7 4 A 1 , 2 0 0 5 . 0 9 . 2 9 , 说 明 书 第 [ 0 0 1 7 ] - [ 0 0 4 9 ] , [ 0 0 6 1 ] 段 . U S 2 0 0 5 / 0 2 1 4 6 7 4 A 1 , 2 0 0 5 . 0 9 . 2 9 , 说 明 书 第 [ 0 0 1 7 ] - [ 0 0 4 9 ] , [ 0 0 6 1 ] 段 . W O 2 0 0 6 / 0 2 7 9 5 0 A 1 , 2 0 0 6 . 0 3 . 1 6 , 说 明 书 第 [ 0 0 1 2 ] - [ 0 0 1 9 ] , [ 0 0 6 8 ] - [ 0 0 7 7 ] 段 . C N 1 4 8 2 1 9 2 A , 2 0 0 4 . 0 3 . 1 7 , 说 明 书 第 5 页 第 1 3 - 1 6 行 , 第 1 2 页 第 1 1 - 2 0 行 . C N 1 6 1 5 3 0 2 A , 2 0 0 5 . 0 5 . 1 1 , 全 文 . C N 1 6 1 5 4 6 0 A , 2 0 0 5 . 0 5 . 1 1 , 全 文 . ( 5 4 ) 发 明 名 称 可 湿 法 显 影 的 底 部 抗 反 射 涂 料 组 合 物 及 其 使 用 方 法 ( 5 7 ) 摘 要 本 发 明 公 开 了 一 种 用 于 在 衬 底 表 面 和 正 性 光 刻 胶 组 合 物 之 间 施 用 的 抗 反 射 涂 料 组 合 物 。 该 抗 反 射 涂 料 组 合 物 可 在 含 水 碱 性 显 影 液 中 显 影 。 该 抗 反 射 涂 料 组 合 物 包 含 聚 合 物 ， 该 聚 合 物 包 含 至 少 一 种 含 选 自 内 酯 、 马 来 酰 亚 胺 和 N - 烷 基 马 来 酰 亚 胺 的 一 个 或 多 个 结 构 部 分 的 单 体 单 元 和 至 少 一 种 含 一 个 或 多 个 吸 收 性 结 构 部 分 的 单 体 单 元 。 该 聚 合 物 不 包 含 酸 不 稳 定 基 团 。 本 发 明 还 公 开 了 一 种 通 过 在 光 刻 中 使 用 本 发 明 抗 反 射 涂 料 组 合 物 形 成 并 转 印 浮 雕 图 像 的 方 法 。 ( 3 0 ) 优 先 权 数 据 ( 8 5 ) P C T 申 请 进 入 国 家 阶 段 日 2 0 0 8 . 1 0 . 2 0 ( 8 6 ) P C T 申 请 的 申 请 数 据 P C T / U S 2 0 0 7 / 0 6 6 8 4 1 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 ( 8 7 ) P C T 申 请 的 公 布 数 据 W O 2 0 0 7 / 1 2 1 4 5 6 E N 2 0 0 7 . 1 0 . 2 5 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) 对 比 文 件 审 查 员 刘 倩 ( 1 9 ) 中 华 人 民 共 和 国 国 家 知 识 产 权 局 ( 1 2 ) 发 明 专 利 权利要求书 4 页 说明书 13 页 附图 1 页
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