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含聚醚胺的抛光组合物

( 1 0 ) 授 权 公 告 号 C N 1 0 1 4 3 2 3 8 4 B ( 4 5 ) 授 权 公 告 日 2 0 1 3 . 0 5 . 0 8 C N 1 0 1 4 3 2 3 8 4 B *CN101432384B* ( 2 1 ) 申 请 号 2 0 0 7 8 0 0 1 5 0 3 6 . 5 ( 2 2 ) 申 请 日 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 1 1 / 4 1 2 , 3 6 9 2 0 0 6 . 0 4 . 2 7 U S H 0 1 L 2 1 / 3 0 4 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) C 0 9 K 3 / 1 4 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 3 ) 专 利 权 人 卡 伯 特 微 电 子 公 司 地 址 美 国 伊 利 诺 伊 州 ( 7 2 ) 发 明 人 杰 弗 里 · 戴 萨 德 保 罗 · 菲 尼 斯 里 拉 姆 · 安 朱 尔 蒂 莫 西 · 约 翰 斯 辛 云 表 王 力 ( 7 4 ) 专 利 代 理 机 构 北 京 市 柳 沈 律 师 事 务 所 1 1 1 0 5 代 理 人 宋 莉 U S 2 0 0 3 0 6 0 1 3 5 A 1 , 2 0 0 3 . 0 3 . 2 7 , 说 明 书 摘 要 、 第 0 0 2 1 段 . U S 5 9 8 5 9 9 9 A , 1 9 9 9 . 1 1 . 1 6 , 第 1 4 栏 第 1 - 2 5 行 . U S 6 8 4 0 9 7 1 B 2 , 2 0 0 5 . 0 1 . 1 1 , 第 6 栏 第 2 5 - 4 6 行 . ( 5 4 ) 发 明 名 称 含 聚 醚 胺 的 抛 光 组 合 物 ( 5 7 ) 摘 要 本 发 明 的 化 学 机 械 抛 光 系 统 包 含 抛 光 组 分 、 液 体 载 体 及 聚 醚 胺 。 本 发 明 的 方 法 包 括 用 上 述 抛 光 系 统 来 化 学 机 械 抛 光 基 板 。 ( 3 0 ) 优 先 权 数 据 ( 8 5 ) P C T 申 请 进 入 国 家 阶 段 日 2 0 0 8 . 1 0 . 2 7 ( 8 6 ) P C T 申 请 的 申 请 数 据 P C T / U S 2 0 0 7 / 0 0 9 5 0 5 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 ( 8 7 ) P C T 申 请 的 公 布 数 据 W O 2 0 0 7 / 1 2 7 1 2 1 E N 2 0 0 7 . 1 1 . 0 8 ( 5 1 ) I n t . C l . ( 5 6 ) 对 比 文 件 审 查 员 童 晓 晨 权 利 要 求 书 4 页 说 明 书 1 0 页 附 图 1 1 页 ( 1 9 ) 中 华 人 民 共 和 国 国 家 知 识 产 权 局 ( 1 2 ) 发 明 专 利 权利要求书4页 说明书10页 附图11页 (10)授权公告号 CN 101432384 B CN 101432384 B *CN101432384B*
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