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一种锗的微米/纳米锥阵列及其制备方法

( 1 0 ) C N 1 0 2 2 5 1 2 8 6 A ( 4 3 ) 2 0 1 1 . 1 1 . 2 3 C N 1 0 2 2 5 1 2 8 6 A *CN102251286A* ( 2 1 ) 2 0 1 1 1 0 1 9 1 2 4 8 . 7 ( 2 2 ) 2 0 1 1 . 0 7 . 0 8 C 3 0 B 3 3 / 0 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) C 3 0 B 3 3 / 1 0 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) C 3 0 B 2 9 / 0 8 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) C 2 3 F 1 / 2 4 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 1 ) 1 0 0 1 9 0 2 ( 7 2 ) 广 ( 7 4 ) 3 1 0 0 2 ( 5 4 ) / ( 5 7 ) / / / / 5 4 0 μ m 5 0 1 0 0 n m / / ( 5 1 ) I n t . C l . ( 1 9 ) ( 1 2 ) 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页
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