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形成受控的空隙的材料和方法

( 1 0 ) C N 1 0 2 5 6 9 1 7 9 A ( 4 3 ) 2 0 1 2 . 0 7 . 1 1 C N 1 0 2 5 6 9 1 7 9 A *CN102569179A* ( 2 1 ) 2 0 1 2 1 0 0 2 2 7 3 4 . 0 ( 2 2 ) 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 6 0 / 7 9 2 , 7 9 3 2 0 0 6 . 0 4 . 1 8 U S 1 1 / 6 9 3 , 7 0 7 2 0 0 7 . 0 3 . 2 9 U S 2 0 0 7 1 0 1 0 3 5 7 5 . 6 2 0 0 7 . 0 4 . 1 8 H 0 1 L 2 1 / 7 6 8 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) H 0 1 L 2 1 / 3 1 6 ( 2 0 0 6 . 0 1 ) ( 7 1 ) ( 7 2 ) R · N · M · L · M · D · J · L · E · J · A · S · ( 7 4 ) ( ) 7 2 0 0 1 ( 5 4 ) ( 5 7 ) 使 ( 3 0 ) ( 6 2 ) ( 5 1 ) I n t . C l . 2 1 9 9 ( 1 9 ) ( 1 2 ) 权利要求书 2 页 说明书 19 页 附图 9 页
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